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SENS4真空傳感器VPM-7 SmartPirani ATM

產(chǎn)品介紹

VPM-7 SmartPirani ATM 傳感器專為半導(dǎo)體負(fù)載鎖壓力控制以及其他需要準(zhǔn)確測量相對于大氣環(huán)境壓力的壓力的真空應(yīng)用而設(shè)計(jì)。與傳統(tǒng)的負(fù)載鎖傳感器和其他負(fù)載鎖傳感器解決方案相比,它具有更高的性能,測量范圍更廣、精度更高、測量周期更短。SmartPirani ATM 將熱導(dǎo)率皮拉尼熱損耗真空計(jì)的可用測量范圍擴(kuò)展了 1-3 個(gè)數(shù)量級(jí),樹立了新的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。

性能特點(diǎn)

  • 一體化多傳感器變送器解決方案
  • 測量和控制負(fù)載鎖定過程:VPM-7 SmartPirani ATM 專為真空氣體壓力測量和控制而設(shè)計(jì)。多種輸出選項(xiàng)可提供除壓力測量信號(hào)之外的更多功能。
  • 模擬輸出:模擬輸出電壓提供用于外部監(jiān)測或控制的信號(hào)。VPM-7 提供每十倍頻程 1 VDC 的標(biāo)準(zhǔn)電壓輸出,單位為毫巴 (mbar)、托 (Torr) 或帕斯卡 (Pa)。
  • 數(shù)字接口:RS-232 和 RS-485 串行接口便于將壓力和溫度測量數(shù)據(jù)傳輸?shù)酵獠吭O(shè)備。
  • 耐腐蝕傳感器:通常情況下,負(fù)載鎖裝置環(huán)境清潔,不含腐蝕性氣體。然而,可選的耐腐蝕傳感器使得 VPM-7 SmartPirani ATM 能夠應(yīng)用于存在腐蝕性化學(xué)品或殘留蝕刻氣體的場合。
  • 其他供應(yīng)商即插即用兼容性:VPM-7 SmartPirani ATM 傳感器可直接替換傳統(tǒng)的負(fù)載鎖定真空傳感器。
  • 定制設(shè)置:VPM-7 SmartPirani ATM 傳感器可根據(jù)具體應(yīng)用需求進(jìn)行定制,使其能夠立即投入特定設(shè)備配置中使用。預(yù)配置選項(xiàng)包括測量范圍、真空壓力單位、設(shè)定點(diǎn)配置和輸出信號(hào)縮放。定制單元將被分配一個(gè)零件編號(hào),以便日后輕松重新訂購。

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)地

丹麥

測量范圍

1×10-6至 1333 mbar (7.5×10-7至 1000 托)

測量原理(1×10-6至 1.5 mbar)

MEMS 皮拉尼熱導(dǎo)率

測量原理(1.5 至 2 mbar)

MEMS 皮拉尼/壓電混合讀數(shù)

測量原理(2 至 1333 mbar)

MEMS 壓阻膜片

精度(1×10-5至 9.99×10-5

讀數(shù)的 25%

精度(1×10-4至 7.99 mbar)

讀數(shù)的 5%

精度(8.00 至 99.9 mbar)

讀數(shù)的 1%

精度(100 至 800 mbar)

讀數(shù)的 0.5%

精度(800 至 1099 mbar)

讀數(shù)的 0.25%

精度1100 至 1333 mbar

讀數(shù)精度 0.5%

1×10-3至 10 mbar(ISO19685:2017)滯后

1%

10 至 1333 mbar(ISO19685:2017)滯后

0.1%

模擬輸出分辨率

16 位 (150 μV)

模擬輸出更新頻率

124 Hz

響應(yīng)時(shí)間(ISO 19685:2017)

<20 ms

溫度補(bǔ)償

+10 至 +50 °C

固態(tài)繼電器設(shè)定點(diǎn)范圍

5×10-6至 1333 mbar (3.75×10-6至 1000 Torr)

固態(tài)繼電器觸點(diǎn)額定值

50 V,100 mArms / mADC

工作環(huán)境溫度

-20 至 +50 °C

介質(zhì)溫度

-20 至 +50 °C

存儲(chǔ)環(huán)境溫度

-40 至 +120 °C

烘烤溫度(非工作狀態(tài))

+120 °C

介質(zhì)壓力

10 bar abs.壓力

安裝位置

任意

防護(hù)等級(jí),EN 60529/A2:2013

IP40

濕度,IEC 68-2-38

98%,無冷凝

外殼

SS 1.4307 / AISI 304L / 鋁合金 6061

真空工藝法蘭(介質(zhì)接觸面)

SS 1.4401 / AISI 316

真空暴露材料(介質(zhì)接觸面)標(biāo)準(zhǔn)版

316 不銹鋼、科瓦合金、玻璃、硅、鎳、鋁、二氧化硅、氮化硅、金、氟橡膠、低揮發(fā)性環(huán)氧樹脂、焊料、RO4305

真空暴露材料(介質(zhì)接觸面)聚對二甲苯保護(hù)版

316不銹鋼、氟橡膠、聚對二甲苯

真空暴露材料(介質(zhì)接觸)陶瓷保護(hù)型

316不銹鋼、氟橡膠、氧化鋁陶瓷(Al?O?)

工藝泄漏密封性

<1×10-9mbar·l/s

平均故障間隔時(shí)間 (MTBF)

13,092,170 小時(shí)

故障率 (FIT,其中時(shí)間=10×10?小時(shí))

76.38

 

產(chǎn)品應(yīng)用

半導(dǎo)體

物理氣相沉積涂層

質(zhì)譜儀

空間模擬

電子顯微鏡

爐子


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